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离子分子质谱仪的主要用途和送样时注意事项

2021-11-15
   离子分子质谱仪工作耐压值高,脉动小、稳定可靠。进样器与整机分体式模式,具有良好的抗干扰性和可拓展性。接头、流路均使用进口Peek材料,耐强酸强碱。连续自动再生电化学抑制器,抑制容量高。高分辨率触摸屏配有WinCE操作系统,以及全中/英文显示的数据处理系统。
 
  离子分子质谱仪的主要用途:
  1.掺杂剂与杂质的深度剖析。
 
  2.薄膜的成份及杂质测定。
 
  3.超薄薄膜、浅植入的超高深度辨析率剖析。
 
  4.硅材料整体分析,包含B,C,O,以及N。
 
  5.工艺工具(离子植入)的高精度分析。
 
  6.可以用于材料表面和表层的化学成份分析。化学元素或化合物在表面和块体材料内部的分布。以及生物组织表面和内部成份和分布分析。包括如半导体,生物,冶金,汽车等领域。
 
  离子分子质谱仪送样时注意事项:
  1、待测试的样品表面不能被沾污;
 
  2、易潮解,易与空气发生反应的样品,在送样过程中应注意隔离空气;
 
  3、用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样;不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋,以免硅树脂或纤维污染样品表面;
 
  4、如为挥发性高分子样品或具挥发性覆膜,务必先自行在真空加热炉中抽除挥发性分子;如果样品置入真空腔后,隔夜无法抽至5X10E-7torr以下,测试将被取消;